| 具有改进成像气体电子束显微镜及其使用方法 |
| US14715432 2015-5-18 发明申请 |
| 2016-11-24 |
| 使用具有改进的成像气体的气体放大来提供带电粒子束成像和测量系统。 该系统包括 : 带电粒子束源，用于将带电粒子束引导到工件；聚焦透镜，用于将带电粒子聚焦到工件上；以及电极，用于加速由带电实践束照射工件产生的二次电子，或者另一气体级联检测方案。 气体成像在高压扫描电子显微镜(HPSEM)室中进行，用于封闭改进的成像气体，包括CH3CH2OH(乙醇)蒸汽。 电极通过CH3CH2OH加速二次电子，通过电离级联电离CH3CH2OH，放大检测用的二次电子数。 提供了使用改进的成像气体的最佳配置，并提供了进行有机液体和溶剂的成像研究以及其它基于CH3CH2OH的方法的技术。 |
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