| 扫描探针显微镜，扫描探针显微镜测量量程范围调整方法以及调整程序 |
| JP2016058655 2016-3-23 发明申请 |
| 2016-11-17 |
| [问题]为了在测量环境温度等变化信号可能会有偏移，所测量的漂移修正得到的扫描探针显微镜能够进行准确的数据。[解决方法]一种位移检测器，其检测位移的悬臂(1)(5)和信号指示，所述悬臂表面300之间保持恒定的预定物理量的样品，扫描探针显微镜扫描探针用于获得测量数据，99，200，前采集的测量数据，粗扫描探针之中，从最大值和最小值，width=(最大值最小值)进行测量，该偏置量=(width/2)的最小值计算装置，用于计算测量范围±40，当执行预扫描时，样品表面在同一位置信号基于变化量，偏移量测量或计算的数据校正装置，用于校正至少一个宽40，基于该信号，测量数据获取装置，用于获取测量数据7，并且还设置。图[图1] |
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