| 在电子显微镜支架及探针单元 |
| KR1020150057828 2015-4-24 发明授权 |
| 2016-11-17 |
| 本发明涉及电子显微镜装置中设置有至少一个用于提供探针单元。本发明目的的本发明的余量程度上的移动探针与电子显微装置组至少一个用于所述探头单元的记录操作。在公共事务号码。为此，本发明根据压电管和电镜的夹持装置沿轴线方向延伸的探针编织型；压电管，固定在所述固定件的一端和下固定件；所述的绝缘基板上，并且耦合到室中子句的横向轴线方向延伸的绝缘杆上；所述绝缘杆为可拆卸地连接到探头支架，副重；所述重新中的导电探头支架副，它包括探头支架。本发明根据所述装置和所述保持器用于电子显微镜探针型缝；所述压电管具有框架和过热的接收箱；所述边框和支撑在从纤维光纤传感器探头设置在间隔开的位置沿轴线方向远离所述筛网放置在试样样品的周边，其中样品支撑块包括横截面。 |
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