| 一种扫描隧道显微镜的扫描结构 |
| CN201610590786.6 2016-7-26 发明申请 |
| 2016-11-16 |
| 本发明公开了一种扫描隧道显微镜的扫描结构，包括基座、沿水平方向可拆卸地安装在所述基座上的探针安装台，所述扫描结构还包括若干电极组，每个所述电极组均包括沿竖直方向插设在所述探针安装台上的电极、安装在所述基座上且位于所述探针安装台下方的弹性件，所述弹性件抵压在所述电极上，所述弹性件具有导电性能且与所述基座相绝缘设置。本发明的扫描机构，通过设置具有导电性能的弹性件，不仅简单、有效地将探针安装台进行了固定，确保了在检测过程中，探针不会发生位移，提高了检测数据的精确性，同时还与电极相导通，为探针提供了更多的实验条件。 |
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