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产业专利数据

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透射电子显微镜支架和制造方法

US15073296 2016-3-17 发明申请

2016-11-10

一种制造透射电子显微镜支撑体的方法，包括将牺牲层沉积到花边或多孔碳结构或支撑体或金属丝网的顶侧，将原子层沉积层沉积到牺牲层的底侧，移除牺牲层，形成透射电子显微镜支撑体。所述透射电子显微镜支撑体包括原子层沉积层，所述原子层沉积层是无碳的、薄的、柔性的、可以被热清洗的、可以被等离子体清洗的，并且包含固定颗粒的化学功能。