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金属扫描近场光学显微镜装置，光谱学及其制造方法

WOIB16052610 2016-5-6 发明申请

2016-11-10

本发明涉及一种金属扫描近场光学显微镜装置及光谱，并涉及其制造方法。该装置包括整体本体(1)具有纵向延伸部(2)，纳米级顶点(4)与凹槽(3)的至少一个表面，和作为一种高效光学探头的合适尺寸和细节，提高光耦合，使纳米级结构的待分析空间分辨率高，效率高，重现性好。