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原子力显微镜主动光学探针

US14991421 2016-1-8 发明授权

2016-11-1

一种新的主动式光学原子力显微镜(AFM)探针，它将半导体激光源、AFM针尖和光电探测器整体集成到一个健壮的、易于使用的单半导体芯片中，以实现常规AFM测量以及纳米级的光学成像和光谱学。