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自动原子力显微镜及其操作

US15202445 2016-7-5 发明申请

2016-10-27

公开了用于快速校准和自动操作扫描探针显微镜的改进。 SPM的中心部件是力传感器，通常是可消耗的悬臂元件。通过自动校准传感器特性和其他仪器参数，扫描参数可以快速、轻松地优化，从而实现高吞吐量、可重复和精确的测量。与动态优化方案相比，这可以在接触表面之前完成，从而避免从测量过程的开始就损坏针尖或样品。