| 扫描探针显微镜 |
| WOJP15061494 2015-4-14 发明申请 |
| 2016-10-20 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜，由此可以提高探针的相对速度和噪声测量结果中不容易发生表面样品形状。在本发明中，当所述探针的相对移动方向做往复运动时，在X方向和相反方向的X方向被切换(起始位置P1及回油位置(P2)，方向后，才逐渐降低的相对速度，和切换后逐渐增大的相对速度，以及突变的探针的相对速度，由此防止了。在换档期间在Y方向相反的方向运动的Y轴方向(起始位置P1及回位置(P2)，探针逐渐增大的相对速度，在这之后，逐渐减小的相对速度，和所述探针的相对速度的突然变化，由此防止了。 |
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