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原子力探针/SEM纳米探针/扫描探针显微镜和准直离子研磨的设备和方法
US14879645 2015-10-9 发明授权
2016-10-18
一种便于原子力显微镜、SEM纳米探针、扫描探针显微镜和准直离子研磨的设备和方法,通过实施可移除的磁化夹具来固定需要表面处理的样品的位置,所述夹具可附接到需要表面处理的保持器,所述保持器可安装在各种仪器中,所述夹具可在具有磁化表面板或盘的容器中运输,所述磁化表面板或盘用于所述夹具的磁性附接,所述容器具有阀以允许替代抽真空并用惰性气体回填以保护样品表面。
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