| 扫描探针显微镜的带有ramanovskikh光谱测量方法 |
| RU2015110373 2015-3-24 发明申请 |
| 2016-10-10 |
| 1。扫描探针显微镜的带有ramanovskikh光谱测量方法，具有底座(1)，在其上安装有光学显微镜(2)与模块(第一)的透镜(3)，第二物镜(10)与第一驱动装置(11)，测量模块(20)，包括单元的初步方法(21)，探头模块(25)，散热模块(30)与第二驱动装置(32)和fotodiodnyi模块(35)与第三驱动装置(37)，所述探针模块(25)，散热模块(30)和fotodiodnyi模块(35)相互光学耦合，坐标工作台(39)上还安装有pezoskanera模块(40)与模块夹具，试样(45)，固定样本(50)上，带有可能由与探头配合的模块(25)，在模块的第第一透镜(3)光学共轭的位置探头模块(25)和样品台(50)，还含有拉曼散射光谱仪(60)和激光(63，光学共轭的探针模块(25)和样品台(50)，其特征在于 : 它具有一位移单元(26)，与探头模块(25)和Y向和定位器(15)，设置在所述底座(1)，Y和定位器(15)上安装有测量模块(20)，模块和压电扫描器(40)安装在底座(1)。2。根据权利要求1装置，其特征在于 : 它包括扫描光学显微镜blizhnepolnyi(90)，第第二物镜(10)光耦合。3。根据权利要求2装置，其特征在于 : 扫描光学显微镜blizhnepolnyi(90)，被检物光学共轭的拉曼散射spectrometre(60)。4。根据权利要求1装置，其特征在于 : 它包括共焦模块(65)与扫描镜(66)，拉曼散射光谱仪(60)和激光器(63)光学耦合至探头模块(25)借助于共焦模块(65)。5。 |
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