| 所述tetrahertz波显微镜及聚焦控制方法 |
| JP2015057097 2015-3-20 发明申请 |
| 2016-10-6 |
| 所要解决的问题 : 可提高观测精度和tetrahertz波显微镜的聚焦控制。溶液 : 显微镜tetrahertz波，和支撑部分，和光源，和光机构，以及控制机构。支撑部，用于支撑待观察物体。所述光源，激发产生光。光学机构，通过激发待观察物体的光，从所述待观察物体产生tetrahertz构成，以检测波。所述控制机构，被支撑在支撑部的观察对象的聚焦误差测量，基于测量的信息，焦点被观察物体的光学机构配合，所述支撑部的相对移动，从而控制光学机制。选择附图中 : 图。2 |
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