| 扫描探针显微镜及扫描探针显微镜量程调整方法 |
| US15086560 2016-3-31 发明申请 |
| 2016-10-6 |
| 一种扫描探针显微镜，具有悬臂，所述悬臂具有 : 探针，所述探针要接触或接近于样品的表面； 和处理器，所述处理器用于执行处理，所述处理包括 : 当在所述探针显微镜控制器获取所述测量数据之前执行预扫描操作时，根据指示所述悬臂的位移的信号的最小值SMin和最大值Smax计算测量宽度Mw和偏移值Ov；以及当在所述探针显微镜控制器获取所述测量数据之前执行预扫描操作时，根据指示所述悬臂的位移的信号的最小值SMin和最大值Smax计算测量宽度Mw和偏移值Ov； 以及当执行预扫描操作时，基于样本表面上相同位置处的信号的时间变化来调节偏移值OV和测量宽度MW中的至少一个。[线内公式]MW=(Smax？Smin)？公式(1)[/线内公式][线内公式]OV=(MW/2)+Smin？公式(2)[/线内公式] |
微信公众号