| 晶体管非易失性内存及其制造装置和方法使用原子力显微镜 |
| KR1020150067979 2015-5-15 发明授权 |
| 2016-6-7 |
| 本发明涉及一种基于石墨烯薄片材料装置涉及一种制造方法，更具体地说，原子力显微镜(原子力显微镜，AFM)，用于光刻工艺，以扫描为基础的石墨烯薄片的混合溶剂含镍的合金具有优异的耐磨性非易失性存储器装置和晶体管，涉及制造方法。根据本发明，如所述，原子力显微镜用于光刻工艺，以扫描为基础的石墨烯薄片通过工艺一体成型的双晶体管非易失性存储器装置通过提供的制造方法，高温度，高真空，例如过程中环境湿法衬底或半导体衬底，而不需要用于极端环境下室温，在正常的光刻扫描原子力显微镜的材料石墨烯薄片的混合溶剂，其包含基于薄膜装置，1中的两个部件的非易失性晶体管和结构。执行器与M个存储单元。 |
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