| 集成，微型，透射电镜 |
| PL41312215 2015-7-14 发明申请 |
| 2016-6-6 |
| 本发明的课题是一种采用微型工程方法制作的集成化微型MEMS型透射电子显微镜。 显微镜是分层结构的，其特点是， 它具有真空密封室 : 一个电子光学柱(1)和一个连接在其上的真空微泵(2)，其中电子光学柱(1)由交替排列的电极和测距器构成，除了极端电极外，这些元件具有同心通孔，同时构成其外壳，电子光学柱(1)和微泵(2)之间的耦合器，其中至少有两个连续的测距器(6)，(8)和介于两者之间的电极(7)是由电子光学柱(1)和真空微泵(2)共用的，并在其中形成连接两个腔室的通道(19)和(20)。 |
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