| 金属屑显微镜 |
| BRPI0917740 2009-12-10 发明申请 |
| 2016-2-16 |
| 一种扫描显微镜(10)包括一个阶段，(18)，用于保持样品(20)，扫描机构，一种探测系统，用于探测区域(24)的样品(20)，位置传感器(80，82)，和控制器。所述扫描机构被设计用于平移台(18)之间的至少两个轴向位置。所述探针系统10包括光学元件和光电探测器具有读出区域，所述读出的区域中延伸方向(14)，它横向于理想取向(72)的级(18)。位置传感器(80，82)用于测量横向位置(84，86)的级(18)和/或定向(74)的级(18)。控制器(30)用于适应探测系统作为测量功能的15横向位置(84，86)和/或实测取向(74)。 |
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