扫描电子显微镜
 
KR1020140002518  2014-1-8  发明申请

2015-7-16
 
  本发明公开了一种图像实现装置的扫描电子显微镜具有的特性包括 : 样品架安装在样品内的一级分析室;细网件设置在电子束传输的位置在样品架的上部,形成微孔,样品连接;盖部件固定细筛网部件上部的样品架上;发射的电子反射构件,安装在下部的细网状构件的样品架反射电子,透过细网状部件,向一个探测器安装在样本分析腔室;和细孔安装在样品架位于下部的细网构件,用于防止电子束扩散通过细网件。
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