照明设备以及使用该照明设备光学检查设备和光学显微镜
 
US14559337  2014-12-3  发明申请

2015-6-11
 
  提供了一种照明设备、以及使用该照明设备的光学检查设备和光学显微镜。 所述照明设备包括 : 光源,发射光;光学装置,输出在预定射线角度分布上比输入到其上的光更均匀地强的光; 一种多次反射光的多反射装置,所述多反射装置具有接收光的光入射表面和发射多次反射光的光发射表面,以及扩散从所述多反射装置的光发射表面发射的光的光扩散装置。 光源、光学器件、多反射器件和光扩散器件共享光路。
 
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