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4
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电子显微镜
WOJP14076883 2014-10-8 发明申请
2015-4-16
本发明的目的是测定发射电流在电子显微镜设有冷阴极场致发射型电子枪(1),以确定清洁因子的电子源(101)。取其发射电流的时间达到0.5后立即闪光的场合,在所述电子源(101)进行清洗,发射电流的时间变化之后的闪光用于估计的清洁因子的电子源(101),和更强的闪光进行。
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