| 透射电镜. |
| JP2013145963 2013-7-12 发明申请 |
| 2015-1-29 |
| 要解决的问题 : 提供一种扫描透射电子显微镜具有确定的散焦校正参数的功能的物镜独立于一个级的定位精度. 方案 : 一种扫描透射电子显微镜包括 : 发射电子束的电子源. 物镜会聚电子束在试样. 检测器检测电子穿过样品. 显示装置显示ronchigram图像使用信号从检测器. 和像差校正器校正像差的电子束，其中所述对象的励磁电流的基础上改变镜头的焦点位置变化量相对于励磁电流量的变化获得从ronchigram图像中的变化在时间时，焦点位置相对于样品通过改变励磁电流值的物镜. 版权 : (C)2015，补正. |
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