| 自适应模式扫描探针显微镜 |
| WOGB14052196 2014-7-18 发明申请 |
| 2015-1-29 |
| 扫描探针显微镜,包括 : 信号发生器,提供一个用于致动器的驱动信号运动一种重复地朝向和远离探针样品。响应于检测所述探头与样品相互作用的驱动信号被修改以使探头移动远离所述样品。所述驱动信号包括接近相,其中所述驱动信号的强度增大到最大值;和一缩回相,其中所述驱动信号的强度降低了从最大值到最小值响应于检测所述表面的位置。所述驱动信号的强度保持在缩回时最小值相和然后以回缩的端部相。缩回相的持续时间依赖于闭合阶段中的最大值。 |