| 扫描探针显微镜 |
| US14994925 2016-1-13 发明申请 |
| 2016-9-29 |
| 一种扫描探针显微镜，能够控制设置在扫描探针显微镜中的物镜的分辨率的降低，并且能够使用物镜容易地进行光杠杆的光轴的调节。 扫描探针显微镜包括 : 具有探针的悬臂； 光源部分发射光束； 第一反射部分，反射入射光束(L0)并将入射光束引导到反射表面； 光接收部分，接收所述光束； 第二反射部，反射反射光束(L1)，并将反射光束引导至受光部； 和物镜，所述物镜设置成面对所述悬臂并用于观察和捕获围绕所述悬臂的区域，所述物镜具有NA的开口数目，其中所述第一反射部分设置在所述物镜和所述悬臂之间的位置处。 |
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