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电子显微镜
WOJP15059019 2015-3-25 发明申请
2016-9-29
本发明的目的是能够同时实现图像以高分辨率的电镜观察,和在高能量分辨率X射线分析用微热量。X射线检测器(107)的位置设有磁场的强度从物镜(102)小于临界磁场的使用的材料,在保温罩,超导性转变边传感器或微热量。另外,光学系统(106),用于发射X射线检测器(107)之间插入样品(105)和检测器(107)。或者,磁场屏蔽件,用于屏蔽X射线检测器(107)使用。
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