| 变焦序列生成方法和显微镜系统被配置成执行的方法 |
| EP15000918 2015-3-27 发明申请 |
| 2016-9-28 |
| 变焦序列的一部分可视化生成方法的样品，所述方法包括 : (S1)改变变焦参数表示图像的一部分的放大的样品；(S3)，以将带电粒子束的第一位置部基于利用带电粒子束系统的变焦参数；表征颗粒数量的强度(S4)检测入射到检测区域；(S4)基于可视化表示的部分的强度；(S6)引导电子束的部分第二的位置根据图像缩放参数，利用扫描电子显微镜中；(S7)检测衍射图案；(S8)确定的晶体结构的结晶性质的基于衍射图案的部分；(S9)生成该组件的表示的部分结构的晶体样品基于所确定的结晶性质；(S10)可视化表示图像中的晶体结构。 |
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