| 一种光照射装置，显微镜，激光束机械加工装置和光照射方法 |
| JP2016114416 2016-6-8 发明申请 |
| 2016-9-23 |
| 所要解决的问题 : 调制光的照射位置在光轴方向可以很容易地改变。溶液 : 光照射装置1a，用于照明物体被照射装置中，所述光源(10)输出光(L1)，相位调制光(L1)的光(L2)和空间光调制器20，空间光调制器20，并提供控制信号给控制部(40)，空间光调制器的相位调制表面20和20被光学地耦合到所述透镜(31)，所述透镜(31)，并且被光学地耦合到透镜(32)，对象B的调制被照射的照射光(L2)和侧远心光学系统30a。相位调制表面20的透镜31和透镜31的焦距和光学距离基本相等。选择附图中 : 图。1 |
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