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产业专利数据

3维多尺度的微细表面结构的显微镜具有集成的微镜

JP2016538894 2014-8-27 发明申请

2016-9-23

在横向方向的子组件用于照明样品或样品的样品架，样品在样品适合于使所述壳体上设有支撑衬底的试样井内，至少一个壁，倾斜反射面为邻近所述样品池，这是，使用时将所述光源发出的光通过样品凹坑在横向方向引导光通过，样品容纳在基本水平的方向提供照明，使用单个样品的成像物镜，用具。