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扫描探针显微镜悬臂梁尖端的重建
US14662208 2015-3-18 发明申请
2016-9-22
一种用于使用聚焦离子束(FIB)铣削来重构扫描探针显微镜(SPM)悬臂尖端的方法,例如重构原子力显微镜(AFM)尖端以供重复使用,该方法包括将具有尖端和尖端点的用过的悬臂安装在FIB短悬臂保持器上,从而暴露尖端。 在尖端点的第一侧和第二侧中的一个或两个上创建铣削图案,并且根据相应的铣削图案对尖端点的一个或两个侧进行纤维铣削,从而创建用于重复使用而不是处置的重构尖端。
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