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扫描电子显微镜装置

CN201620454328.5 2016-5-18 实用新型

2016-9-21

本实用新型提供了一种扫描电子显微镜装置，其包括圆形台面，所述圆形台面的中心开设有圆形过孔，圆形过孔内设有可升降的托盘，托盘外围的圆形台面上间隔设置有两段弧形钢片。通过上述方式，本实用新型能够满足生产更小直径的晶圆的需求。