| 在传输的装置和方法进行光谱带电粒子显微镜 |
| EP15159576 2015-3-18 发明申请 |
| 2016-9-21 |
| 传动带电粒子显微镜，包括 : 一个标本夹，用于夹持试样；-源，用于产生一束带电粒子；一个照明装置，用于将所述辐射束以照射所述样品中；一种成像系统，用于接收带电粒子从样品通量并将其引导到光谱设备包括 : 一种分散装置，用于将所述通转换为能量分辨的子光束的光谱分布阵列沿着色散方向；探测器，所述探测器包括子组件沿着所述色散方向设置的探测器，借此使不同的子检测器具有不同的检测灵敏度可调。 |
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