| 高分辨率扫描显微镜 |
| JP2016533860 2014-7-18 发明申请 |
| 2016-9-15 |
| 样品(2)高分辨率扫描显微镜和用于显微镜的方法，样品(2)和照明的照明装置(3)，(2)至少一个样本1在一点或电子束光点(14)，用于扫描，点或线(14)和平面(18)形成的光斑在标尺仍处于独立图像(17)的衍射极限的聚焦和图像形成装置(4)，考虑到所述至少两个膨胀/区域的成像比例1(17)相对于各个图像的衍射极限的半宽度尺寸至少2次各个单独的位置的分辨率检测面(18)上的扫描位置(17)在图像检测器，检测装置(19)，一检测器装置(19)上的扫描位置从所述各个图像数据(17)，用于评估该衍射结构，提高分辨率的超衍射极限具有与试样(C)产生的图像评价装置具有，检测器装置(19)，(25)具有一像素，单独图像(17)和(24)大于探测器阵列，探测器阵列(24)的前方放置，所述检测面(18)从非成像式的辐射检测器阵列(24)(25)上被分布到像素的非成像式的重新分布部件(20-21；30-34。30-35)具有，重新分配部件更换和/或图像大小相适配的用于变焦光学系统，聚焦光学系统，调节和/或控制信号的各个像素的检测器阵列使用积分控制回路中进行调节，这种调节是图像对比度作为受控变量和/或图像亮度和/或者信噪比。 |
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