| 用表面轮廓仪扫描电子显微镜检测厚度变化和定量深度 |
| US15164823 2016-5-25 发明申请 |
| 2016-9-15 |
| 描述了一种用于检测主题材料厚度变化的方法和系统。 一方面，评估磁盘驱动器存储器系统在磁头的极尖区域处的摩擦学磨损。 利用扫描电子显微镜(SEM)获得对象材料的第一区域和第二区域的图像。 对SEM图像进行图像处理以获得第一区域和第二区域之间的微分对比度。 通过获得第一区域和第二区域的表面轮廓仪图像，并将SEM图像与表面轮廓仪图像重叠和校准，确定第一区域和第二区域的掩模SEM图像之间的图像强度变化。 在一个方面，利用从表面轮廓仪图像与SEM图像的校准中获得的拟合关系，将图像强度变化转换为量化厚度。 |
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