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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

用于快速扫描探针显微镜闭环控制器和方法

US15006974 2016-1-26 发明申请

2016-9-15

一种操作计量仪器的方法，包括使用致动器在扫描频率下产生探针和样品之间的相对运动。该方法还包括使用在所检测的运动中表现出噪声的位置传感器来检测致动器的运动，以及使用反馈环路和前馈算法来控制致动器的位置。在该实施例中，与位置传感器在大约7倍扫描频率的带宽中呈现的噪声相比，控制步骤衰减致动器位置中的噪声。扫描频率可高达第一扫描器谐振频率的三分之一或大于300Hz。