| 扫描探针显微镜 |
| WOJP15056918 2015-3-10 发明申请 |
| 2016-9-15 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜10包括探头111,一种用于盛放样品的样品保持器(113S,扫描仪的扫描单元(114),用于使探针111与样品架(113)相对于彼此移动,以扫描样品表面与探头111,和测量单元115测量探针111与样品S之间的相互作用,样品表面的图像并产生测量结果的基础上,所述的扫描探针显微镜(10)具有 : 测量数据存储单元,数据存储单元(120),其存储由测量单元(115)获得的测量数据;预噪声除去频谱数据生成部(122),在预定表面的多个扫描期间的定时,产生预噪声除去频谱数据进行傅里叶变换测量数据的测量数据存储单元中的每一个定时之前预定时间段内获得;一种后置噪声除去频谱数据生成单元123产生的噪声去除后通过移除一个或两个频谱数据的背景数据;预定频带的噪声去除处理数据;去除噪声后测量数据创建单元124,其产生了样品表面进行反傅立叶变换后图像创建数据噪声除去频谱数据;与样品表面图像生成单元的上表面125,其产生图像的样品表面图像生成的基础数据中每次样品表面图像生成的数据被创建。 |