| 一种晶圆显微镜光源结构 |
| CN201620386809.7 2016-4-29 实用新型 |
| 2016-9-14 |
| 本实用新型提供一种晶圆显微镜光源结构，所述晶圆显微镜光源结构至少包括：光线扩散灯头、光纤软管以及光源装置；所述光线扩散灯头设置在所述光纤软管的出射端；所述光纤软管由一固定支架所固定，所述固定支架包括：固定柱、锁紧套以及紧固件，所述光纤软管穿套于所述锁紧套内并由所述紧固件夹紧固定；所述光源装置设置在所述光纤软管入射端，所述光源装置包括底座、多种发光源以及开光装置，通过所述开光装置控制所述光源装置中所需发光源发出光线，并使光线沿着所述光纤软管，照射到待检晶圆上。本实用新型通过固定支架，实现灯头的固定和角度调节；通过光源装置提供不同的发光源，便于检测出不同缺陷；再通过灯头的光线发散特性，增大光源的照射区域。 |
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