| 用于减少扫描电子显微镜图像中的充电伪影的方法和系统 |
| US15058062 2016-3-1 发明申请 |
| 2016-9-8 |
| 一种用于减轻充电伪影的扫描电子显微镜设备，包括用于从样品获取多个图像的扫描电子显微镜子系统。 图像包括一组或多组免费图像。 所述一组或多组互补图像包括沿第一扫描方向获取的第一图像和沿与所述第一扫描方向相反的第二扫描方向获取的第二图像。 该装置包括通信地耦合到扫描电子显微镜子系统的控制器。 控制器被配置为从扫描电子显微镜子系统接收样品的图像。 所述控制器还被配置为通过组合所述一组或多组互补图像来生成合成图像。 |
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