| 分光器件,以及一个与之共焦扫描显微镜 |
| JP2012114953 2012-5-18 发明授权 |
| 2016-9-7 |
| 分光装置包括 : 衍射元件,对于每个波长将光分散;光学聚光系统会聚衍射光的衍射在衍射元件产生的特定顺序;光电检测器设置在所述特定顺序的衍射光的位置上,通过光学聚光系统;第一偏转装置第二的行进方向反转产生的光的零阶衍射光的衍射第一已经进入的光衍射元件为平行光束,使第二的光会聚成该衍射元件;和第二偏转装置偏转的所述特定顺序的衍射光通过衍射生成光的第二具有在同一方向进入衍射元件产生的衍射光作为所述特定的顺序第一的衍射光,使折射光为光学聚光系统。 |