| 多针尖扫描探针显微镜 |
| US15054382 2016-2-26 发明申请 |
| 2016-9-1 |
| 用于使用多集成尖端扫描探针显微镜表征样品的装置和系统。 多集成针尖(MIT)探针由两个或多个彼此位于nm内的单片集成且可移动的AFM针尖组成，能够在真空或环境条件下实现前所未有的微到纳米级探测功能。 尖端结构与电容梳状结构相结合，提供无激光、高分辨率电输入、电输出驱动和检测能力，并与结型场效应晶体管集成，用于信号放大和低噪声操作。 这种“片上平台”方法是相对于当前技术的一种范式转变，该技术基于单尖端技术，利用激光器、纳米定位器和电子设备等支撑设备实现功能化。 |
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