测量方法和电子显微镜
 
US15053225  2016-2-25  发明申请

2016-9-1
 
  提供了一种能够容易地测量分段检测器的检测器段相对于扫描透射电子显微镜(STEM)图像的方向的测量方法。 该测量方法用于配备有分段检测器的电子显微镜中,分段检测器具有分成检测器段的检测表面。 该测量方法用于测量检测器段相对于STEM图像的方向。 该方法包括使杆图像散焦以由此引起杆图像的偏差,并且测量检测器段相对于杆图像的方向与杆图像的偏差的方向之间的关系(步骤S11)。
 
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