近场光透射电子发射显微镜
 
US15049024  2016-2-20  发明申请

2016-9-1
 
  近场光学透射电子发射显微镜涉及在一个仪器中结合近场或近场区域的光学成像(当波长超过所需的横向分辨率时的透射电磁辐射)和EEM显微镜的二次电子成像(基于“阴极透镜物镜”的发射电子显微镜)。 这两种显微技术通过光子-电子转换器的应用结合起来,光子-电子转换器通过单向闭合通道(毛细管)矩阵将物体的光学透射图像(被穿透的电磁辐射照射)转换成相关的光电子图像。 转换器的闭合光滑的正面(包括沟道底部)保持与成像对象接触,而转换器的相对开放的正面(包括沟道开口的阵列(矩阵))暴露于真空并发射二次电子。
 
仿站