| 多个扫描探针显微镜集成顶尖 |
| WOUS16019763 2016-2-26 发明申请 |
| 2016-9-1 |
| 用于表征样品装置和系统使用多个集成扫描探针显微镜尖端。多个集成的尖端(MIT)探针包括两个或更多个单片整体可移动的AFM针尖彼此定位成在纳米，能够实现前所未有的微纳米级真空中或环境条件探测功能。尖端结构的电容梳状结构结合laserless提供出高分辨率电动式电驱动和传感能力的新颖集成有结型场效应管用于信号放大和低噪音运行。这种“平台上的芯片”的方法的范例变化相对于现有技术基于单端官能化使用的叠层支撑机构 : 激光器，纳米定位装置和电子设备。 |
微信公众号