一种小型扫描共聚焦光谱显微镜
 
CN201520923385.9  2015-11-19  实用新型

2016-8-31
 
  本实用新型公开了一种小型扫描共聚焦光谱显微镜,由泵浦模块,扫描成像模块,共聚焦模块,探测模块等4部分组成;所述的泵浦模块包括安装在第一反射镜安装座上的第一反射镜和安装在二向色镜安装座上的二向色镜;所述的扫描成像模块包括二维扫描振镜、扫描透镜或者平场物镜、计算机、数据采集卡和信号控制线,二维扫描振镜固定在基板上,扫描透镜或者平场物镜嵌在基板上,与二维扫描振镜Y轴同轴;所述的共聚焦模块包括安装在第二反射镜安装座上的第二反射镜、安装在平凸透镜安装座上的平凸透镜,安装在光纤安装座上的光纤;探测模块由光电探测器,以及计算机、数据采集卡构成。本实用新型结构紧凑、光程较短、灵敏度高、功能多样、可扩展性强。
 
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