| 同轴的离子微源和扫描电子显微镜 |
| PL41175515 2015-3-26 发明申请 |
| 2016-8-29 |
| 本发明的对象是一种为扫描电子显微镜，特别是变压扫描电子显微镜设计的同轴离子微源，以及装有这种源的扫描电子显微镜。 同轴离子微源的特点是， 其中，放电室(16)由与电子束(EB)同轴的快门帽(13)形式的至少一个电极组成， 固定并电隔离在物镜(3)的下极孔中，快门罩(13)设有构成下节流虹膜(D1)的开口，充有相对于物镜(3)负的中间压力(P2)的气体，同时快门罩(13)用快门电压(U2)极化，对象盘(11)用相对于快门罩(13)负的加速电压(U4)供电。 第二品种中的扫描电子显微镜设有由至少两个电子束(EB)同轴电极组成的放电室(16)，该放电室由绝缘间隔件(9)紧密连接， 包括固定并电隔离在物镜(3)的下极孔中的阳极(8)和电连接到信号放大器并设置在物盘(11)一侧的快门罩(13)，在中间腔(4)中设有构成下节流快门(D1)的气体，其中快门罩(13)上的快门电压(U2)和阳极(8)上的中间电压(U1)值接近且与物盘(11)正。 |
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