| 光学显微镜定位的方法，所述物体的局部显微检查点 |
| JP2016522575 2014-7-1 发明申请 |
| 2016-8-22 |
| 本发明给出了一种用于定位显微镜的光学显微方法的样品中定位点对象(26)(14)，所述样品(14)成像到检测器(16)通过一个成像光学单元(12)；和点对象(26)中包含的试样(14)定位在该景深范围(18)利用本实用新型产生的样本图像的成像样品(14)上的检测器(16)为基础确定侧位X，Y位置点对象(26)的方向垂直所述光轴(O)，所述的景深范围(18)的移动对象空间中相对于样品(14)沿通过至少一次光轴(O)的预定轴向(z)和Z行程，具有轴向设置的景深范围(18)，所述样品(14)再次成像到检测器(16)和产生进一步的样品图像；横向X，Y位置点对象(26)的基础上，重新决定进一步的样品图像；侧位X，Y侧之间的位置偏差X，Y分别相同的位置点对象(26)的基础上确定确定不同的样本图像；和根据所述校正信息确定侧位X，Y位置偏差，横向X，Y位置点对象(26)的所述校正信息校正。 |
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