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扫描式电子显微镜

CN201380041036.8 2013-7-1 发明授权

2016-8-17

本发明提供一种扫描式电子显微镜。在具备电子束柱的扫描式电子显微镜中，由可拆装的部件构成电子束柱的物镜的前端，能够装配不同的材质的物镜的前端。