| 低速率及扫描电镜电子衍射检测模块 |
| JP2015554390 2014-5-14 发明申请 |
| 2016-8-12 |
| 该低速电子射线衍射(leed)检测模块，一种第二电子的样品从真空室(1)和用于接收，第一的真空室1通过衍射电子真空室(1)，以接收第一和第二的真空室2和大，为了用于探测第一的电子衍射2设置在真空室(2)和三维电子检测器，第一的真空室1和真空室第二的内表面2有沿所述护罩和所述内表面电位ultraoscillation，所述的2维电子检测器通过真空腔1朝着第一拓宽了电子衍射透镜和电子束，低于大约排斥作用在样品探针的电子束能量和能量的平面状设有过滤器。 |
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