产业集群信息网

产业专利数据

使用扫描探针显微镜对特征成像的方法

US15015067 2016-2-3 发明申请

2016-8-11

使用局部电位驱动探针将导体驱动到已知电位，同时相邻线接地通过样品主体，减少了来自相邻线的静电扫描显微镜信号，允许对样品中更深的金属线成像。使用多个局部电位驱动探针在不同导线上局部地提供不同的电位允许在同一图像中突出不同的导体，例如通过改变施加到不同局部电位驱动探针的信号的相位。