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利用扫描探针显微镜的特征物成像的方法

WOUS16016411 2016-2-3 发明申请

2016-8-11

使用局部电位驱动探针驱动一个已知的电位，而相邻导体线接地，通过静电扫描显微镜的样品，降低了来自相邻信号线，允许样品中的金属线较深的成像。提供局部不同的电位不同的导电线路上使用多个局部电位驱动探针可被突出显示同一图像中不同导线，例如，通过改变信号的相位不同的局部电位施加到驱动探针。