一种透射电子显微镜分析样品的方法
 
JP2011105205  2011-5-10  发明授权

2016-8-10
 
  本发明提供的多个探测器(334, 426;340, 420, 502, 826,702),其检测已经通过样品的电子。所述检测器优选地检测出电子后已经通过棱镜(322, 412),其将根据电子它们的能源。电子在不同能量范围的不同探测器进行检测,优选至少一个(334, 426)与所述电子检测器测量所损耗的能量,它们通过样品。本发明提供了一种鳗对的一个实施例的磁芯损耗的同时,提供明亮的场STEM信号的电子从低损耗的电子。
 
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