| 电子显微镜样品台具有相同 |
| JP2015013641 2015-1-27 发明申请 |
| 2016-8-4 |
| 所要解决的问题 : 对各个晶粒具有各种轴承，晶体缺陷的反射电子检测仪试样的观察的条件和倾斜角度的装置可提供一种控制样品台。溶液 : 单向向表面的电子束入射到样品(20)安装在电子显微镜样品中的底座10，电子显微镜和可拆卸地安装在主体部(1)，样品20具有试样夹持面(2)和样品保持部(2)，和3，和样品保持面(2)中的相对平行的面和具有后表面(3)b和反射电子检测器(3)，所述反射电子检测器3，从穿过表面3的后表面3的B，和，电子射线束具有一孔3穿过，样品保持部(2)，单向在B点为中心点，可摆动地支撑到所述主体(1)，所述反射电子检测器3，试样夹持面(2)的探测器表面，同时维持平行状态而可动地支承在所述握持部2，所述样品台。选择附图中 : 图。2 |
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