| 用于观测，测试，测量方法和扫描电子显微镜 |
| JP2015013872 2015-1-28 发明申请 |
| 2016-8-4 |
| 所要解决的问题 : 本发明，高纵横比图案的孔型观察表示的底部，检查，测量时，图案相对于所述底部的位置的位置偏移的孔不会产生准确掌握样品的形状，样本精确的实际观察，检查，测量带电粒子射束，提供一种方法相同。溶液 : 与带电粒子束扫描样品区，二次检测从样品反射或通过电子或在带电粒子束装置形成图像，一种基于扫描1的第第一区域的第第一图像数据，使用1，1，2)小于第一区域的第一区域的图像数据的基础上形成扫描2，第一的多个图案的图像数据1包括在上侧到下侧所述的重心相对应的形状对应的形状的重力中心图1是图第二的差量分别计算，1第二相位差量满足预定条件，一种第二扫描区包括图案区域(2)。选择附图中 : 图。5 |
微信公众号